隨著信息技術的飛速發(fā)展，半導體產業(yè)作為電子工業(yè)的核心，呈現(xiàn)出蓬勃的發(fā)展態(tài)勢。目前，半導體技術已經滲透到通信、計算機、消費電子、汽車電子等多個領域，成為推動現(xiàn)代社會進步的重要力量。

半導體廢氣處理難點

難點一：尾氣組分復雜難以處理

由于半導體生產過程中使用的化學物品種類繁多，所以廢氣排放中的組分也難以預測和控制。

難點二：高效處理難以達到

由于半導體廢氣中含有的有害氣體濃度較低，處理難度較大。在處理半導體廢氣時，需要使用高效的處理技術，對尾氣進行充分的分解和過濾，以達到排放標準。

難點三：成本高難以承受

半導體生產企業(yè)通常需要在處理半導體廢氣時進行大量的投資和人力資源的投入，這也是半導體尾氣處理難以承受的另一個因素。

半導體廢氣處理案例，節(jié)約運成本

半導體廢氣處理項目背景

此次項目的業(yè)主是一家集芯片設計、晶圓制造和封裝測試于一體的半導體企業(yè)，總部位于北京亦莊經濟開發(fā)區(qū)。2016年在北京投建8英寸晶圓生產線，可迪爾憑借多年的VOCs治理經驗和可靠的技術贏得客戶信賴，為客戶提供兩套沸石轉輪+TO工藝（一用一備）用于半導體廢氣處理，并和產線于2019年一同投運。自半導體廢氣處理項目驗收以來，系統(tǒng)穩(wěn)定運行，持續(xù)達標排放，滿足國家排放要求。隨著產能提升，現(xiàn)有系統(tǒng)（一用一備）無法滿足生產需求，需要增加一套沸石轉輪+TO系統(tǒng)治理半導體廢氣處理，與現(xiàn)有系統(tǒng)組成兩用一備，以滿足正常生產。

半導體廢氣處理廢氣參數(shù)

半導體廢氣處理廢氣風量：50000m3/h

半導體廢氣處理廢氣濃度：100mg/m3

半導體廢氣處理廢氣成分：PGME、PGMEA、IPA、丙酮等非甲烷總烴

半導體廢氣處理設計方案

半導體廢氣處理工藝：沸石轉輪濃縮+TO（與現(xiàn)有系統(tǒng)組合成兩用一備）

半導體廢氣處理濃縮倍數(shù)：20倍

半導體廢氣處理工藝路線

半導體廢氣經主工藝風機輸送至沸石轉輪，半導體廢氣中的VOCs被沸石吸附后達標排放至大氣中。再由脫附風機輸送的熱空氣將VOCs從沸石中脫附出來，再由TO風機輸送至TO反應器中，被氧化成CO₂和H₂O，達標排放至大氣中。

半導體廢氣處理喜迎驗收

近日，該項目喜迎驗收。

第三方檢測機構對治理效果進行了全面檢測和評估，治理后的非甲烷總烴排放濃度≤7mg/m3，處理效率89%，滿足上海市DB31/374-2006《半導體行業(yè)污染物排放標準》，確保了半導體生產過程中的環(huán)境安全和健康。

未來，可迪爾將繼續(xù)秉承“感恩、卓越、真誠、熱愛”的企業(yè)理念，不斷提升自身技術和服務水平，為更多企業(yè)和行業(yè)提供高效、可靠的VOCs治理解決方案，共同推動環(huán)保事業(yè)的發(fā)展。