隨著信息化時代的到來，半導(dǎo)體行業(yè)也在迅速發(fā)展，半導(dǎo)體給社會帶來的經(jīng)濟(jì)效益及就業(yè)率有目共睹，但隨之而來的環(huán)境問題也不容忽視。

半導(dǎo)體廢氣來源

半導(dǎo)體行業(yè)廢氣主要來自于半導(dǎo)體設(shè)備、電子元器件、電子組件、平板顯示器、整機(jī)機(jī)殼的表面涂層工藝使用的溶劑型涂料、清洗工藝使用的有機(jī)脫脂劑、脫水劑，感光成像工藝中的光刻膠稀釋劑、顯影劑、脫膠劑、液態(tài)阻焊膜劑、去膜劑等使用有機(jī)溶劑的工藝環(huán)節(jié)。

半導(dǎo)體廢氣特征

半導(dǎo)體行業(yè)產(chǎn)生的廢氣具有風(fēng)量大、濃度低的特點(diǎn)。廢氣種類繁多，成分復(fù)雜，常見成分有苯、甲苯、丙酮、正丁醇、丙醇單甲醚、環(huán)己酮、正庚烷、甲基氫呋喃、三氯乙烯和氯仿等，通常分為酸堿廢氣、有機(jī)廢氣和有毒氣體，其中砷烷、磷烷等有毒廢氣具有極強(qiáng)的毒性和腐蝕性。如果不處理這些廢氣，不僅會對周圍環(huán)境產(chǎn)生較大危害，還會嚴(yán)重影響工人健康，長時間接觸這些氣體，會對肺部和皮膚黏膜產(chǎn)生刺激作用，從而導(dǎo)致呼吸道和皮膚疾病。

因此，需要采用高效的廢氣治理技術(shù)，對半導(dǎo)體行業(yè)VOCs廢氣進(jìn)行凈化處理后達(dá)到排放要求。

半導(dǎo)體廢氣處理方法有那些？　

針對半導(dǎo)體廢氣的特性，治理工藝的選擇至關(guān)重要。

酸堿廢氣：一般采用堿液吸收和酸液吸收進(jìn)行處理；

有機(jī)廢氣：可采用吸附法、吸收法、直接燃燒法、催化燃燒法、冷凝法等多種工藝；

有毒廢氣：對于砷烷、磷烷等有毒廢氣，則可采用砷磷烷吸附塔進(jìn)行高效處理。

此外，針對半導(dǎo)體產(chǎn)線中不同工藝環(huán)節(jié)產(chǎn)生的廢氣，還需結(jié)合實(shí)際情況進(jìn)行工藝優(yōu)化和組合。例如，在PECVD工藝中，可采用不銹鋼燃燒筒、硅烷燃燒洗滌塔和氨氣洗滌塔等組合工藝，實(shí)現(xiàn)對硅烷和氨氣的高效去除；在絲網(wǎng)印刷工藝中，可采用活性炭纖維吸附塔對有機(jī)廢氣進(jìn)行凈化處理。

國家對于半導(dǎo)體廢氣治理的態(tài)度

隨著環(huán)保意識的增強(qiáng)和法規(guī)的日益嚴(yán)格，國家對半導(dǎo)體廢氣治理的重視程度不斷提高。一方面，加大了對廢氣治理技術(shù)研發(fā)的投入，推動廢氣治理技術(shù)的不斷創(chuàng)新和升級；另一方面，制定了一系列嚴(yán)格的排放標(biāo)準(zhǔn)，要求半導(dǎo)體企業(yè)必須采取有效的治理措施，確保廢氣排放達(dá)標(biāo)，為廢氣治理市場的健康發(fā)展提供了有力保障。

可迪爾承接半導(dǎo)體生產(chǎn)各個工序的廢氣處理，在半導(dǎo)體廢氣治理行業(yè)有豐富的行業(yè)經(jīng)驗(yàn)和專業(yè)的技術(shù)團(tuán)隊，目前還在為半導(dǎo)體行業(yè)廢氣治理難煩惱的業(yè)主，歡迎來可迪爾詳細(xì)咨詢。